| 工艺功能            | 部件实现<br />PID                | 确认项目                                       |
| ------------------- | -------------------------------- | ---------------------------------------------- |
| 提供局部A级送风环境 | 风机、压差表、高效过滤器、均流膜 | 高效检漏<br />风速<br />初始压差<br />悬浮粒子 |
| 防止粉尘逸散：负压  |                                  | 气流流型                                       |
| 提供照明            | 灯具                             | 照度确认                                       |
| 提供电力            | 插座                             | 插座供电情况                                   |
| 安全                |                                  | 噪声<br />急停<br />断电恢复                   |
| CSV                 |                                  | 权限？报警？                                   |